非晶AlBN介质薄膜的制备及相关特性研究

刘峰峰, 李玉雄, 隋展鹏, 蔡勇, 张永红, 蒋春萍

材料工程 ›› 2020, Vol. 48 ›› Issue (6) : 112-117.

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材料工程 ›› 2020, Vol. 48 ›› Issue (6) : 112-117. DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2019.000323
研究论文

非晶AlBN介质薄膜的制备及相关特性研究

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Preparation and relevant properties of amorphous AlBN dielectric films

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