Zr掺杂对Y2O3/金刚石薄膜结构与性能的影响

操淑琴, 黄亚博, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明

材料工程 ›› 2025, Vol. 53 ›› Issue (10) : 165-172.

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材料工程 ›› 2025, Vol. 53 ›› Issue (10) : 165-172. 　DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2023.000366 　CSTR: 32421.14.j.issn.1001-4381.2023.000366
研究论文

Zr掺杂对Y2O3/金刚石薄膜结构与性能的影响

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Effect of Zr doping on structure and properties of Y2O3/diamond films

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