沉积压强对AlCrSiN/Mo自润滑涂层结构及性能的影响

王重阳, 刘艳梅, 连伟锋, 张银行, 何猛, 薛锐, 吕源江, 刘大桐, 徐远剑, 王铁钢

材料工程 ›› 2025, Vol. 53 ›› Issue (9) : 219-228.

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材料工程 ›› 2025, Vol. 53 ›› Issue (9) : 219-228. DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2023.000408
研究论文

沉积压强对AlCrSiN/Mo自润滑涂层结构及性能的影响

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Influence of deposition pressure on structure and properties of AlCrSiN/Mo self-lubricating coating

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