氧化石墨烯在碳化硅电化学机械抛光中的作用机制及工艺

彭超, 任荣浩, 王子睿, 王永光, 黄冬梅, 朱睿, 成锋

材料工程 ›› 2025, Vol. 53 ›› Issue (8) : 185-192.

PDF(4116 KB)
PDF(4116 KB)
材料工程 ›› 2025, Vol. 53 ›› Issue (8) : 185-192. DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2023.000441
研究论文

氧化石墨烯在碳化硅电化学机械抛光中的作用机制及工艺

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
作者信息 +

Mechanism of action and process for graphene oxide in electrochemical mechanical polishing of silicon carbide

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
Author information +
文章历史 +

本文亮点

{{article.keyPoints_cn}}

HeighLight

{{article.keyPoints_en}}

摘要

{{article.zhaiyao_cn}}

Abstract

{{article.zhaiyao_en}}

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用
{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2025, 53(8): 185-192 https://doi.org/10.11868/j.issn.1001-4381.2023.000441
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2025, 53(8): 185-192 https://doi.org/10.11868/j.issn.1001-4381.2023.000441
中图分类号：

参考文献

列表( 原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序 ) 可视化分析

参考文献

{{article.reference}}

基金

版权

{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}
PDF(4116 KB)

Accesses

Citation

Detail
段落导航
相关文章

/

〈 〉