基于沉积温度的氧化铟锡微结构调控及性能

马可欣, 曹丽莉, 罗飞, 周海涛, 王瑶, 罗炳威, 徐毅, 刘松, 孙坤

材料工程 ›› 2024, Vol. 52 ›› Issue (9) : 11-18.

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材料工程 ›› 2024, Vol. 52 ›› Issue (9) : 11-18. DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2023.000842
航空发动机传感器材料技术专栏

基于沉积温度的氧化铟锡微结构调控及性能

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ITO microstructures regulation and properties based on deposition temperature

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