PVD法制备(Ti,Al)N涂层中残余应力对其质量的影响

吴化, 陈涛, 宋力

材料工程 ›› 2013, Vol. 0 ›› Issue (2) : 60-64,92.

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材料工程 ›› 2013, Vol. 0 ›› Issue (2) : 60-64,92. DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2013.02.012
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PVD法制备(Ti,Al)N涂层中残余应力对其质量的影响

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Effects of Residual Stress on Quality of (Ti,Al)N Coatings Deposited by PVD Method

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