磁控溅射NbSiN复合膜的微结构和性能

喻利花, 苑彩云, 许俊华

材料工程 ›› 2013, Vol. 0 ›› Issue (7) : 35-39.

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材料工程 ›› 2013, Vol. 0 ›› Issue (7) : 35-39. DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2013.07.007
材料与工艺

磁控溅射NbSiN复合膜的微结构和性能

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Microstructures and Mechanical Properties of Magnetron Sputtered NbSiN Composite Films

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