a-C:N膜的制备及结构分析

张贵锋, 张建宏, 耿东生, 刘正堂, 郑修麟

材料工程 ›› 1997, Vol. 0 ›› Issue (3) : 10-12.

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材料工程 ›› 1997, Vol. 0 ›› Issue (3) : 10-12.
论文

a-C:N膜的制备及结构分析

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Preparation and Structure Analysis of Amorphous Carbon Nitride Films

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