非晶态Ti-B-N薄膜的制备及晶化研究

李戈扬, 王公耀, 李鹏兴, 王纪文, 王永瑞

材料工程 ›› 1998, Vol. 0 ›› Issue (10) : 19-21,29.

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材料工程 ›› 1998, Vol. 0 ›› Issue (10) : 19-21,29.
论文

非晶态Ti-B-N薄膜的制备及晶化研究

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Study on Synthesization and Crystallization of Amorphous Ti-B-N Thin Films

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