化学气相沉积碳化钛的热力学和动力学研究

郭海明, 舒武炳, 乔生儒, 白世鸿, 孟国文

材料工程 ›› 1998, Vol. 0 ›› Issue (10) : 25-29.

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材料工程 ›› 1998, Vol. 0 ›› Issue (10) : 25-29.
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化学气相沉积碳化钛的热力学和动力学研究

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Thermodynamic and Kinetic Studies on Chemical Vapor Deposition Process of TiC

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