声光调QNd:YAG激光对硅划片的研究

齐军, 王昆林, 梁绵长, 朱允明

材料工程 ›› 1999, Vol. 0 ›› Issue (3) : 45-48.

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材料工程 ›› 1999, Vol. 0 ›› Issue (3) : 45-48.
特种工艺　

声光调QNd:YAG激光对硅划片的研究

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Study on Laser Scribing of Silicon Wafer with a Q-switched Nd:YAG Laser

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