射频功率对氧化铬薄膜的力学性能和耐磨损性能的影响

罗飞, 庞晓露, 高克玮, 杨会生, 王燕斌

材料工程 ›› 2007, Vol. 0 ›› Issue (1) : 25-28.

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射频功率对氧化铬薄膜的力学性能和耐磨损性能的影响

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Effects of Radio Frequency Power on Mechanical Properties and Wear Resistance of Chromium Oxide Thin Films

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