冷坩埚原理及其在多晶硅制备中的应用

黄锋, 陈瑞润, 郭景杰, 丁宏升, 杨劼人, 苏彦庆, 傅恒志

材料工程 ›› 2011, Vol. 0 ›› Issue (7) : 90-96.

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材料工程 ›› 2011, Vol. 0 ›› Issue (7) : 90-96.
综述

冷坩埚原理及其在多晶硅制备中的应用

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Cold Crucible Theory and Its Application in Preparing of Multicrystalline Silicon

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