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Cr离子注入铜薄膜对氧化物形成特征的影响
王二敏, 王晓震, 赵新清
The Effect of Ion Implantation on the Characteristics of Oxide Formation of Copper Thin Films
WANG Er-min, WANG Xiao-zhen, ZHAO Xin-qing
材料工程 . 2000, (8): 39 -40,46 .