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无定型CNx超硬薄膜的生长过程研究
王继刚, 李红, 张旭海, 李凡, 蒋建清
Study on Growth Process of Amorphous Carbon Nitride Film
WANG Ji-gang, LI Hong, ZHANG Xu-hai, LI Fan, JIANG Jian-qing
材料工程 . 2007, (4): 39 -42,46 .