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KMC模拟薄膜生长反常效应的研究
郑小平, 张佩峰, 贺德衍, 郝远
Simulation of Abnormal Effect in Film Groeth Using KMC Method
ZHENG Xiao-ping, ZHANG Pei-feng, HE De-yan, HAO Yuan
材料工程 . 2008, (10): 29 -31,34 .