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PVD薄膜传感器裂纹检测概率测定与分析
刘凯, 崔荣洪, 侯波, 何宇廷, 牛欢
Estimation and analysis of probability of PVD film sensor crack detection
Kai LIU, Rong-hong CUI, Bo HOU, Yu-ting HE, Huan NIU
材料工程 . 2019, (9): 160 -166 .  DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2018.000781