羟基化处理对氮化硼膜耐原子氧性能的影响

张宇, 黄峰, 马金瑞, 刘强, 孙煜

材料工程 ›› 2018, Vol. 46 ›› Issue (7) : 61-67.

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材料工程 ›› 2018, Vol. 46 ›› Issue (7) : 61-67. DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2017.001154
研究论文

羟基化处理对氮化硼膜耐原子氧性能的影响

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Effects of Hydroxyl Treatment on Atomic Resistance Property of Hexagonal Boron Nitride Film

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