化学气相沉积HfO2涂层的制备及性能

何锐朋, 朱利安, 王震, 叶益聪, 李顺, 唐宇, 白书欣

材料工程 ›› 2024, Vol. 52 ›› Issue (5) : 67-75.

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材料工程 ›› 2024, Vol. 52 ›› Issue (5) : 67-75. DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2023.000561
研究论文

化学气相沉积HfO2涂层的制备及性能

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Preparation and properties of HfO2 coatings by chemical vapor deposition

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