基于沉积温度的氧化铟锡微结构调控及性能
马可欣, 曹丽莉, 罗飞, 周海涛, 王瑶, 罗炳威, 徐毅, 刘松, 孙坤
ITO microstructures regulation and properties based on deposition temperature
MA Kexin, CAO Lili, LUO Fei, ZHOU Haitao, WANG Yao, LUO Bingwei, XU Yi, LIU Song, SUN Kun
材料工程
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2024, (9): 11
-18
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DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2023.000842
