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多孔硅的制备及其吸杂处理对电学性能的影响
李佳艳, 郭素霞, 谭毅, 刘辰光
Preparation of Porous Silicon and the Influence of Gettering on the Electrical Properties
LI Jia-yan, GUO Su-xia, TAN Yi, LIU Chen-guang
材料工程 . 2012, (3): 70 -73 .