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提高溅射沉积MoS2膜耐磨性的途径及分析
张晓玲, 胡奈赛, 何家文
Study on the Methods to Improve the Propertiesof Sputtering Deposited MoS2 Films
ZHANG Xiao-ling, HU Nai-sai, HE Jia-wen
材料工程 . 1999, (10): 44 -47 .