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TiN/AlN纳米多层膜的研究
李戈扬, 施晓蓉, 吴亮, 许俊华, 戎咏华, 张惠娟
A Study of TiN/AlN Nano Multilayers
LI Ge-yang, SHI Xiao-rong, WU Liang, XU Jun-hua, RONG Yong-hua, ZHANG Hui-juan
材料工程 . 1999, (11): 6 -9,13 .