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CVD法水蒸气条件下制备SiC块体
焦桓, 周万城, 李翔
Growth Rate and Deposition Process of SiC with Water Vapor Introduced by CVD
JIAO Huan, ZHOU Wan-cheng, LI Xiang
材料工程 . 2000, (12): 12 -14,18 .