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蓝宝石和硅衬底上氮化硅薄膜的制备和性能研究
宋文燕, 崔虎, 苏勋家, 刘正堂
Preparation and Properties of Si3N4 Films on Sapphire and Si Substrates
SONG Wenyan, CUI Hu, SU Xunjia, LIU Zhengtang
材料工程 . 2006, (2): 38 -40 .