磁控溅射法制备CN<sub>x</sub>薄膜及其结构表征

王继刚, 李红, 张旭海, 李凡, 蒋建清

Structure Characterization and Preparation of Carbon Nitride Film Using Magnetron Sputtering

WANG Ji-gang, LI Hong, ZHANG Xu-hai, LI Fan, JIANG Jian-qing

材料工程 . 2006, (7): 11 -13,18 .