PECVD法制备硅基ZnO薄膜光学性能的研究
王应民, 杜楠, 蔡莉, 李禾, 程国安
Optical Property of ZnO Films Grown on Si Substrate by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
WANG Ying-min, DU Nan, CAI Li, LI He, CHENG Guo-an
材料工程 . 2007, (11): 71 -75 .