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用于MEMS热敏传感器中绝热层的多孔硅性能研究
李昌青, 胡明, 杨海波
Study on Performance of Porous Silicon Used in Thermal Isolation Layer of Micro Thermal Sensor
LI Chang-qing, HU Ming, YANG Hai-bo
材料工程 . 2008, (8): 9 -12 .