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碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究
韩建强, 卢少勇, 李青, 王疆英
Microfabrication Silicon Tips in Iodine-supersaturated KOH Solution
HAN Jian-qiang, LU Shao-yong, LI Qing, WANG Jiang-ying
材料工程 . 2008, (10): 92 -94,97 .